
I. 용도
II. 특징

하드웨어 구성



| 수동 줌 렌즈 0.7X–4.5X | 선형 가이드 웨이 | 다양한 외부 액세서리 호환 지원 |


| 코드 | 4175001 | |
| 모델 | VMU3020 | |
| 테이블 | 유리 테이블 크기(㎜) | 350*250 |
| XY 스크로크 (mm) | 300*200 | |
| 하중 용량 | 약 20 kg | |
| 무게 (kg) | 330KG | |
| 외형 치수 (L*W*H, 단위: mm) | 620*840*1020 | |
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측정 대상 지정 시스템 (표준 부속품) |
카메라: TEO™ 컬러 1/2인치 CCD 카메라 | |
| 줌 렌즈: Pomeas™ 오토 줌 렌즈 | ||
| 렌즈 배율: 0.7–4.5X | ||
| 영상 배율: 20–128X, 시야각(FOV): 11.1–1.7mm | ||
| 해상도: 0.5 μm | ||
| 측정 소프트웨어 | RationalVue™ | |
| Z축 도동 | 200mm | |
| 정확도 E1* | Ex, y ≤ (2.0+L/200) μm | |
| 정확도 E2* | Exy ≤ (2.3+L/200) μm | |
| 조명 | 투과 조명 및 표면 조명은 LED 채용, 밝기 조절 가능 | |
| 전력 | 110/220V(AC), 800W | |






