
I. 用途
II. 特徴

ハードウェアの構成



| 手動ズームレンズ 0.7X–4.5X | リニアガイドウェイ | 複数の外部アクセサリに対応 |


| コード | 4175001 | |
| モデル | VMU3020 | |
| テーブル | ガラステーブルの寸法(mm) | 350*250 |
| XYストローク(mm) | 300*200 | |
| 耐荷重 | 約20 kg | |
| 重量 (kg) | 330kg | |
| 外形寸法(L×W×H、単位:mm) | 620*840*1020 | |
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測定ターゲティングシステム (標準付属品) |
カメラ:TEO™ カラー 1/2インチ CCD カメラ | |
| ズームレンズ:Pomeas™ オートズームレンズ | ||
| レンズ倍率:0.7〜4.5倍 | ||
| ビデオ倍率:20〜128倍、視野角(FOV):11.1〜1.7 mm | ||
| 分解能:0.5 μm | ||
| 計測ソフトウェア | RationalVue™ | |
| Z軸ストローク | 200ミリメートル | |
| 精度 E1* | Ex, y ≤ (2.0+L/200) μm | |
| 精度 E2* | Exy ≤ (2.3+L/200) μm | |
| 照明 | 透過照明および表面照明にはLEDを採用、明るさは調整可能 | |
| 電力 | 110/220V(AC)、800W | |






